Soitec 使用 KLA 工具提高 SiC 产量

合作伙伴关系将有助于将高质量的 SiC 半导体大量带入汽车市场

半导体材料公司 Soitec 选择了过程控制专家 KLA Corporation，以实现汽车行业创新 SiC 器件的高产量制造。

Soitec 使用其专利 SmartSiC 技术生产 SiC 基板，旨在提高电力电子设备的性能并提高电动汽车的能源效率。

基于其使用 KLA 检测器检测其绝缘体上硅 (SOI) 晶圆的往绩记录，Soitec 扩大了与 KLA 的合作伙伴关系，并为其 SmartSiC 晶圆选择了 Surfscan SP A2 无图案检测系统。

据称，Soitec 的 SmartSiC 晶圆可提供卓越而独特的晶体质量，而 KLA 的 Surfscan SP A2 使用 DUV 光学和先进算法来支持基板质量控制。他们表示，此次合作将使 SiC 基板的生产达到新的甚至更复杂的水平，从而支持该行业将高质量的 SiC 半导体大批量带入汽车市场。

2022 年 3 月，Soitec 宣布在其位于法国格勒诺布尔附近的 Bernin 总部建设新的晶圆厂 Bernin 4，主要致力于制造 150mm 和 200mm 尺寸的 SmartSiC 晶圆。新工厂预计将于 2023 年下半年投入运营。

Soitec 首席技术官 Christophe Maleville 表示：“将我们独特的 SmartSiC 工程基板与 KLA 的检测和计量系统相结合，将帮助我们确保基板制造的最高质量水平，从而推动下游客户的产量。” “通过 KLA，我们展示了他们的检测系统对我们最重要的 SOI 技术的巨大潜力。现在，我们将其应用于汽车领域的创新 SmartSiC 技术。这将帮助我们提高制造效率，满足电动汽车市场不断增长的需求，并为我们的客户提供进一步的附加值。”

“在 KLA，我们非常重视我们的客户关系和研发投资，因为它们为我们提供了在正确的时间提供所需的过程控制解决方案所需的知识和技术，”Surfscan、ADE 和 ECI 集团的高级副总裁 Jijen Vazhaeparambil 说. “通过与 Soitec 的密切合作，我们能够将我们世界一流的 Surfscan 检测技术应用于宽带隙基板领域。由此产生的 Surfscan SP A2 系统提供了帮助 Soitec 实现其对 SiC 和其他宽带隙基板的严格质量标准所需的灵敏度和生产能力。”

永霖光电-UVSIS-独家发布